中国半导体薄膜沉积设备行业的发展历史可以追溯到上世纪90年代末，当时由于国内的半导体技术水平低下，使得半导体薄膜沉积设备无法满足国内市场的需求，大部分设备都是从国外引进的。国内半导体技术的不断提高，中国半导体薄膜沉积设备行业发展迅速。
根据中国智能制造产业协会的统计，2015年中国半导体薄膜沉积设备行业的规模达到了24.3亿元，其中硅沉积设备占据市场份额的41.4%，其余的市场份额分别是钛沉积设备、锡沉积设备、钨沉积设备和其他沉积设备。
国内半导体技术水平的提高，中国半导体薄膜沉积设备行业的市场规模将进一步增长。根据市场调研机构的数据，到2020年中国半导体薄膜沉积设备行业的市场规模将达到60亿元。
在未来几年，中国半导体薄膜沉积设备行业的发展趋势将更加明显。由于国内半导体技术水平的提高，半导体薄膜沉积设备的技术性能将有所提高，从而满足国内半导体企业的高端需求。半导体薄膜沉积设备的价格将继续下降，进一步拉动行业发展。在未来几年内，半导体行业的进一步发展，半导体薄膜沉积设备的市场需求也将继续增长，有利于行业的发展。
中国半导体薄膜沉积设备行业的市场规模将国内半导体技术的提高而继续增长，未来几年行业发展趋势将更加明显，半导体薄膜沉积设备的市场需求也将继续增长，为中国半导体行业的发展注入新的活力。